鍵合機(jī)是一種高度靈活的晶圓鍵合系統(tǒng)，可以處理從碎片到200mm的基板尺寸。該工具支持所有常見的晶圓鍵合工藝，例如陽極，玻璃粉，焊料，共晶，瞬態(tài)液相和直接法。易于使用的鍵合腔室和工具設(shè)計允許對不同的晶圓尺寸和工藝進(jìn)行快速便捷的重新工具化，轉(zhuǎn)換時間不到5分鐘。這種多功能性非常適合大學(xué)，研發(fā)機(jī)構(gòu)或小批量生產(chǎn)應(yīng)用。本產(chǎn)品與大批量制造工具上的鍵合室設(shè)計相同，鍵合程序易于轉(zhuǎn)移，可輕松擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模。

 

　　鍵合機(jī)的結(jié)構(gòu)說明：

　　1、爐體：采用雙層水夾層結(jié)構(gòu)，爐壁溫度不超過60℃，內(nèi)外壁為不銹鋼拋光。上、下法蘭組焊成筒型結(jié)構(gòu)，法蘭平面開設(shè)密封槽。采用氟圈真空密封，并設(shè)水冷裝置。爐體設(shè)有抽真空接口、充氣接口、放氣接口、真空壓力表接口、真空規(guī)管接口、溫度測量接口、電極法蘭接口、冷卻水進(jìn)出接口等。

　　2、爐蓋：采用雙層夾層封頭結(jié)構(gòu)，內(nèi)外壁為304不銹鋼，爐蓋上設(shè)有水冷不銹鋼上壓頭、壓頭鎖緊裝置、爐蓋導(dǎo)向裝置、泄壓閥、爐蓋緊鎖等裝置。爐蓋可方便的提起和安裝。

　　3、爐底：采用雙層水夾層結(jié)構(gòu)，水冷不銹鋼下壓頭、壓力傳感器、真空密封結(jié)構(gòu)、液壓缸、可調(diào)節(jié)高度位移傳感器等。

　　4、爐架：由四根立柱與架臺連接，上下承壓板采用碳鋼煮黑處理，橫放在四根立柱上，采用M24螺母進(jìn)行鎖緊、固定。耐壓強度高，光潔度及平衡度高。

　　5、壓頭：上、下壓頭采用高純石墨塊制作壓成。配合陶瓷隔熱片、云母隔熱片與設(shè)備水冷壓頭組成一整套完備的結(jié)構(gòu)設(shè)計。

　　6、真空獲得系統(tǒng)：由一臺機(jī)械泵以及高真空手動擋板閥，波紋管等組成。

　　7、真空測量系統(tǒng)：采用電阻真空計測量真空度。

　　8、液壓系統(tǒng)：采用電動輸入方式。由液壓站配有進(jìn)口比例閥、壓力傳感器、位移顯示器、液壓缸等相關(guān)液壓裝置，壓力調(diào)節(jié)半自動化、可通過手動調(diào)節(jié)。儀表可設(shè)定自動調(diào)節(jié)壓力，并能實現(xiàn)穩(wěn)壓、保壓。

　　9、溫控系統(tǒng)：采用日本島電溫控器配合固態(tài)繼電器和K型熱電偶形成閉環(huán)PID控溫，控溫精準(zhǔn)，誤差在1℃內(nèi)。

　　10、水冷系統(tǒng)：由各種管道閥等相關(guān)裝置組成，具有水壓欠壓、斷水聲光報警自動切斷電源功能。

　　11、發(fā)熱組件、隔熱屏：發(fā)熱組件采用氧化鋁纖維加熱模塊的結(jié)構(gòu)，方便模塊化更新和維護(hù)，保溫性能好、加熱均勻、輻射面大、耐熱沖擊性好。保溫層和發(fā)熱分體，易維護(hù)和取裝。

　　13、充氣系統(tǒng)：由各種管道及閥門組成，并配有放氣閥，充氣管路上裝有針閥。并配有奧托尼克斯壓力變送器和日本進(jìn)口CKD閥，能實現(xiàn)自動充放氣功能，自動保壓、穩(wěn)壓。