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紫外光納米壓印機(jī)從操作到優(yōu)化的全流程指南
2025-12-19

作為先進(jìn)的納米壓印設(shè)備,EVG7300紫外光納米壓印機(jī)憑借其300毫米晶圓處理能力、300納米級(jí)對(duì)準(zhǔn)精度及模塊化設(shè)計(jì),成為半導(dǎo)體、光學(xué)元件及生物醫(yī)療領(lǐng)域的關(guān)鍵制造工具。本文從設(shè)備結(jié)構(gòu)、操作流程、關(guān)鍵參數(shù)調(diào)控及維護(hù)要點(diǎn)四方面,解析其高效使用的...

  • 2022-12-16

    晶圓鍵合自動(dòng)系統(tǒng)能接受4個(gè)以上的鍵合腔體,可配置整個(gè)的晶圓鍵合過(guò)程,包括陽(yáng)極鍵合、熱壓鍵合、低溫等離子體鍵合以及尺寸達(dá)300毫米的晶圓鍵合。自動(dòng)晶圓黏著鍵合技術(shù)確保堆疊式設(shè)備實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)。晶圓鍵合自動(dòng)系統(tǒng)是一種重要的加工技術(shù),它使用一個(gè)中間層(典型的聚合體)來(lái)粘接兩個(gè)基層,被廣泛地運(yùn)用在先進(jìn)封裝中。該方法的主要優(yōu)勢(shì)在于實(shí)現(xiàn)低溫加工、使材料表面平整化和提高晶圓形貌的耐久性。在CMOS圖像傳感器的應(yīng)用方面,晶圓黏著鍵合技術(shù)會(huì)在圖像傳感器材料表面和晶圓的玻璃蓋片之間設(shè)置一層保護(hù)屏障。在...

  • 2022-12-15

    近半個(gè)世紀(jì)以來(lái),硅一直是世界科技繁榮的重點(diǎn),芯片制造商幾乎都在壓榨它的生命。傳統(tǒng)上用于制造芯片的技術(shù)在2005年左右達(dá)到了極限。那時(shí),芯片制造商將不得不尋求其它技術(shù),將更多的晶體管塞到硅板上,而光刻機(jī)的出現(xiàn)很好幫助了芯片制造商解決這一煩惱,從而制造出更強(qiáng)大的芯片。下面就來(lái)詳細(xì)了解一下!光刻機(jī)必須把工程師繪制的電路板精確無(wú)誤的投到硅晶圓上,不允許有絲毫誤差,可見難度之高!將晶體管封裝到芯片上的傳統(tǒng)工藝被稱為“深紫外光刻”(DUV),這是一種類似攝影技術(shù)的技術(shù),通過(guò)透鏡聚焦光線,...

  • 2022-12-14

    紅外測(cè)厚儀對(duì)水含量、涂布量、薄膜和熱熔膠的厚度有著十分重要的意義,它擔(dān)負(fù)著傳遞目標(biāo)信息的作用,直接影響檢測(cè)水含量、涂布量、薄膜和熱熔膠等厚度的準(zhǔn)確度。今天,給大家講一下紅外測(cè)厚儀是怎么工作的?可應(yīng)用在哪些地方?一、典型應(yīng)用:測(cè)量水含量、涂布量、薄膜和熱熔膠的厚度。應(yīng)用在涂膠工序時(shí),該設(shè)備可放置于涂膠池后、烘箱前,在線測(cè)量涂膠的厚度;應(yīng)用在造紙工序時(shí),該設(shè)備可放置在烘箱后,在線測(cè)量干紙張的水含量。二、測(cè)量原理:利用紅外光穿透物質(zhì)時(shí)的吸收、反射、散射等效應(yīng)實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量薄膜類材...

  • 2022-12-05

    光學(xué)輪廓儀是一款便捷的、精確的、實(shí)用的非接觸三維形貌測(cè)量系統(tǒng)。它建立在移相干涉測(cè)量(PSI)、白光垂直掃描干涉測(cè)量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測(cè)量(CSI))等技術(shù)的基礎(chǔ)上,以其納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測(cè)件的表面粗糙度、表面輪廓、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術(shù)、材料、太陽(yáng)能電池技術(shù)等領(lǐng)域。在發(fā)展初期,光學(xué)輪廓儀主要采用傳統(tǒng)的光學(xué)成像技術(shù),通過(guò)鏡頭和傳感器來(lái)獲取物體的輪廓信息。...

  • 2022-11-27

    光刻技術(shù)與我們的生活息息相關(guān),我們用的手機(jī),電腦等各種各樣的電子產(chǎn)品,里面的芯片制作離不開光科技束。如今的世界是一個(gè)信息社會(huì),各種各樣的信息流在世界流動(dòng)。而光刻機(jī)是保證制造承載信息的載體。在社會(huì)上擁有不可替代的作用。光刻機(jī)的技術(shù)原理:光刻機(jī)就是把芯片制作所需要的線路與功能區(qū)做出來(lái)。利用光刻機(jī)發(fā)出的光通過(guò)具有圖形的光罩對(duì)涂有光刻膠的薄片曝光,光刻膠見光后會(huì)發(fā)生性質(zhì)變化,從而使光罩上得圖形復(fù)印到薄片上,從而使薄片具有電子線路圖的作用。這就是光刻機(jī)的作用,類似照相機(jī)照相。照相機(jī)拍攝...

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