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紫外光納米壓印機(jī)從操作到優(yōu)化的全流程指南
2025-12-19

作為先進(jìn)的納米壓印設(shè)備,EVG7300紫外光納米壓印機(jī)憑借其300毫米晶圓處理能力、300納米級(jí)對(duì)準(zhǔn)精度及模塊化設(shè)計(jì),成為半導(dǎo)體、光學(xué)元件及生物醫(yī)療領(lǐng)域的關(guān)鍵制造工具。本文從設(shè)備結(jié)構(gòu)、操作流程、關(guān)鍵參數(shù)調(diào)控及維護(hù)要點(diǎn)四方面,解析其高效使用的...

  • 2022-11-21

    表面粗糙度怎么檢測(cè),表面粗糙度的檢測(cè),我們常用的有以下幾中方法。1.顯微鏡比較法,Ra0.32;將被測(cè)表面與表面粗糙度比較樣塊靠近在一起,用比較顯微鏡觀察兩者被放大的表面,以樣塊工作面上的粗糙度為標(biāo)準(zhǔn),觀察比較被測(cè)表面是否達(dá)到相應(yīng)樣塊的表面粗糙度;從而判定被測(cè)表面粗糙度是否符合規(guī)定。此方法不能測(cè)出粗糙度參數(shù)值。2.光切顯微鏡測(cè)量法,Rz:0.8~100;光切顯微鏡(雙管顯微鏡)是利用光切原理測(cè)量表面粗糙度的方法。從目鏡觀察表面粗糙度輪廓圖像,用測(cè)微裝置測(cè)量Rz值和Ry值。也可...

  • 2022-11-17

    掩模對(duì)準(zhǔn)光刻系統(tǒng)與我們的生活息息相關(guān),我們用的手機(jī),電腦等各種各樣的電子產(chǎn)品,里面的芯片制作離不開(kāi)光科技束。如今的世界是一個(gè)信息社會(huì),各種各樣的信息流在世界流動(dòng)。而光刻系統(tǒng)是保證制造承載信息的載體。在社會(huì)上擁有不可替代的作用。光刻系統(tǒng)的技術(shù)原理:掩模對(duì)準(zhǔn)光刻就是把芯片制作所需要的線路與功能區(qū)做出來(lái)。利用光刻機(jī)發(fā)出的光通過(guò)具有圖形的光罩對(duì)涂有光刻膠的薄片曝光,光刻膠見(jiàn)光后會(huì)發(fā)生性質(zhì)變化,從而使光罩上得圖形復(fù)印到薄片上,從而使薄片具有電子線路圖的作用。這就是光刻的作用,類(lèi)似照相機(jī)...

  • 2022-11-14

    在過(guò)去的40年,我們發(fā)展成為隔振臺(tái)的供應(yīng)商,并在此領(lǐng)域積累了豐富的經(jīng)驗(yàn)。與此同時(shí),測(cè)量技術(shù)有了很大的進(jìn)步,一些靈敏的設(shè)備會(huì)受被動(dòng)式隔振臺(tái)中低頻共振頻率的干擾,只有主動(dòng)式隔振臺(tái)能消除此類(lèi)干擾。因此,我們?cè)诒粍?dòng)式隔振臺(tái)產(chǎn)品之外,補(bǔ)充了由瑞士TableStableLtd.開(kāi)發(fā)的先進(jìn)主動(dòng)式隔振臺(tái)。隔振臺(tái)的描述:調(diào)整腳,焊接鋼框架。1、薄膜空氣彈簧BiAi產(chǎn)處于框架和需要隔振的平臺(tái)之間(垂直固有頻率2.3Hz)2、機(jī)械氣動(dòng)定位控制(精度土1/lOOmm或土1/lOmm)特點(diǎn):1、固有振...

  • 2022-11-09

    Thetametrisis膜厚測(cè)量?jī)x用于氧化釔(Y?O?)涂層厚度測(cè)量。它可快速準(zhǔn)確地繪制大型氧化鋁陶瓷圓盤(pán)上的抗等離子涂層Y?O?層厚度。下面我們來(lái)看看用Thetametrisis膜厚測(cè)量?jī)x測(cè)量氧化釔(Y?O?)涂層厚度的具體情況。Thetametrisis膜厚測(cè)量?jī)x測(cè)量氧化釔(Y?O?)的案例分析:氧化釔(Y?O?)是一種非常有前景抗等離子涂層材料,且在集成電路中特征尺寸的持續(xù)減小應(yīng)用在化學(xué)機(jī)械拋光后的高度平整工藝用作化學(xué)機(jī)械平面化(CMP)的磨料,具有獷泛的應(yīng)用范圍。氧...

  • 2022-11-01

    硅片厚度測(cè)量?jī)x是采用紅外干涉技術(shù)的一款測(cè)量?jī)x器。它能夠精確測(cè)量硅片厚度和測(cè)量TTV總厚度變化,也能實(shí)時(shí)測(cè)量超薄晶圓厚度(掩膜過(guò)程中的晶圓),硅片厚度測(cè)試儀非常適合晶圓的研磨、蝕刻、沉淀等厚度測(cè)量應(yīng)用。硅片厚度測(cè)量?jī)x具有突出優(yōu)勢(shì),諸多材料例如Si、GaAs、InP、SiC、玻璃、石英以及其他聚合物在紅外光束下都是透明的,非常容易測(cè)量,標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)量空間分辨率可達(dá)50微米,更小的測(cè)量點(diǎn)也可以做到。目前,儀器可廣泛用于MEMS、晶圓、電子器件、膜厚、激光打標(biāo)雕刻等工序或器件的測(cè)量。該硅...

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